측정 범위 : Al(13) - U(92)

시료 형태 : Solid / Liquid / Powder, Multi-Layer

시료챔버크기 : 500×450×185 (W x D x H)

CCD Camera (배율) : 500만 화소 CCD Camera (40배)

유해물질 성적서 Report 종류 : Word, Excel, PDF파일 저장, 출력 / 사용자 지정 양식

방사능 안전차단 장치 : 자동 3중 차단 장치 (센서, 필터, 블록 구조)

주요 특징 : 

- 원격지원 (실시간)
-Auto Stage Mode
-일반도금, Rh, Pd, Au, Ag, Sn, Ni 두께측정
-다층 박막 두께 측정 (최대5층)

주요 장점 : 

-다층박막 두께 측정 (최대 5Layer)
-편리한 스테이지 컨트롤
-멀티포인트 측정 가능
-ROHS 유해물질 측정 추가 가능 (option)